无锡宜恰高技术有限公司-静电卡盘-E-chuck

无锡宜恰高技术有限公司

主要从事半导体核心零部件的研发、生产、销售及提供半导体材料，半导体设备零部件的相关技术服务支持。

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无锡宜恰高技术有限公司

致力于成为中国半导体优质零部件解决方案供应商

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氮化铝陶瓷ESC （原厂改进）

氧化铝陶瓷ESC （定制开发）

氧化铝陶瓷ESC （定制开发）

氧化铝陶瓷ESC （定制开发）

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller，双水道）
特点及应用：
库伦型，单电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，单电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，单电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、TSV、TGV工艺及其他常规工艺设备。

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC

温度：
高温款（-30-600℃）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐高温，适应于填孔PVD、IMP工艺及其他高温工艺设备。

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（带加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（带加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

产品开发及应用

高温氧化铝陶瓷ESC

温度：
高温款（-30-600℃）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐高温，适应于填孔PVD、IMP工艺及其他高温工艺设备；

产品开发及应用

氮化铝陶瓷ESC （原厂改进）

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，导热好，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备；

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC （定制开发）

温度：
温控款（带温控，带chiller）
特点及应用：
分区温控，适用于需要控温底座的Etch、PVD、CVD等工艺机台；

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC （定制开发）

温度：
温控款（带温控，带chiller）
特点及应用：
分区温控，适用于需要控温底座的Etch、PVD、CVD等工艺机台；

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC （定制开发）

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备；

产品开发及应用

掺杂氧化铝ESC

温度：
温控款（带温控，带chiller）
特点及应用：
JR型，吸力大，导热好，wafer表面温升低，适用于8-12英寸Etch、PVD、CVD工艺；

产品开发及应用

掺杂氧化铝ESC

温度：
温控款（带温控，带chiller）
特点及应用：
JR型，分区温控，12改8英寸，适用于需要温度补偿的Etch、CVD等工艺机台；

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于刻蚀（含TSV）及其他常规工艺设备；

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于刻蚀（含TSV）及其他常规工艺设备；

产品开发及应用

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于刻蚀（含TSV）及其他常规工艺设备；

氮化铝陶瓷ESC （原厂改进）

氧化铝陶瓷ESC （定制开发）

氧化铝陶瓷ESC （定制开发）

氧化铝陶瓷ESC （定制开发）

核心技术

静电卡盘作为半导体设备关键部件，直接影响设备的工艺性能、设备的在线使用效率、晶圆生产的良率。

设计技术

静电场仿真技术
吸力仿真技术
热场仿真技术

制造技术

陶瓷烧结技术
电极制备技术
陶瓷喷涂技术...

检测技术

材料尺寸精度测试：尺寸公差、粗糙度等
材料缺陷检测：裂纹、电阻率、导热等
电学性能检测：耐压、漏电流、电容等...

应用技术

ETCH
PVD
IMP

无锡宜恰高技术有限公司

无锡宜恰高技术有限公司位于江苏无锡，主要从事半导体核心零部件的研发、生产、销售及提供半导体材料，半导体设备零部件的相关技术服务支持，在技术上精益求精，以“诚信、质量”为品质目标，并以满意的客户服务为宗旨，全力跟随客户需求，不断进行产品创新，服务了半导体、院校、科研单位等众多客户。

我们以积极热情的服务态度，高性价比的产品，及时有效的售后服务得到了众多客户的支持和信任。

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新闻资讯

致力于成为中国半导体优质零部件解决方案供应商

2024

08-26

氧化铝陶瓷ESC特点

2024

08-26

氧化铝陶瓷ESC

2024

08-26

氧化铝陶瓷

2022

07-28

年产3000吨氧化铝陶瓷项目助力陶瓷产业创新发展

近日，年产3000吨氧化铝特种陶瓷复合材料产业化项目在耀州窑文化基地工业陶瓷产业园正式投产，标志着我国陶瓷产业在创新发展的道路上迈出了重要一步。该项目由陕西澳华瓷业科技有限公司主导，总投资4000万元，旨在通过智能化、绿色化设备的运用，提升陶瓷产品的性能与产量，满足航空航天、高铁、新能源汽车等领域对高性能陶瓷材料的需求。

2022

01-10

氧化铝陶瓷：以卓越性能引领材料科技新纪元

近日，氧化铝陶瓷因其卓越的物理、化学性能，在多个领域展现出强大的应用潜力和市场价值，引起了广泛关注。作为一种高性能陶瓷材料，氧化铝陶瓷以其独特的优势，正逐步成为现代工业不可或缺的关键材料。

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feike@metoon.com.cn

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江苏省无锡市新吴区清源路18号530创业大厦A栋501-1

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