产品开发及应用
氧化铝陶瓷ESC （定制开发）
温度：
温控款（带温控，带chiller）
特点及应用：
分区温控，适用于需要控温底座的Etch、PVD、CVD等工艺机台；
温控款（带温控，带chiller）
特点及应用：
分区温控，适用于需要控温底座的Etch、PVD、CVD等工艺机台；
所属分类：
产品描述
尺寸：12英寸
电压：±3.6KV
吸力：＞10gf/c㎡
温度：温控款（带温控，带chiller）
特点及应用：分区温控，适用于需要控温底座的Etch、PVD、CVD等工艺机台。
无锡宜恰
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