ESC介绍
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电介质库伦力学模型静电卡盘内部电极施加直流高压后，电介质表面会产生极化电荷，极化电荷形成静电场，静电场促使置于静电卡盘之上的晶片表面（与静电卡盘接触面）产生极化电荷，晶片表面与静电卡盘表面（有效电极部）对应区域范围聚集极性相反的电荷，异性电荷相吸，晶片被静电卡盘紧密吸附在其表面。晶圆表面产生极化电荷还是自由电荷取决于晶片或镀膜的导电能，类似硅晶圆等半导体晶片则产生自由电荷，蓝宝石等其他绝缘体晶片则产生极化电荷。
按主体材料划分
陶瓷类静电卡盘
● 氧化铝 Al2O3
● 氮化铝 AlN
● 碳化硅 SIC
● 蓝宝石 Sapphire
● 石英 Quartz等
薄膜类静电卡盘
● 聚酰亚胺 Polyimide Film
● 硅橡胶 Silicon Film
● 氧化铝 Al2O3 Film
● 聚四氟乙烯 PTFE Film等
按静电力原理划分
库伦 /COULOMBS
库伦力静电卡盘又可称为电介质静电卡盘，薄膜类静电卡盘一定是电介质静电卡盘，但电介质静电卡盘不仅包含全部类型薄膜类静电卡盘，又包含部分陶瓷类静电卡盘。
迥斯热背 /J-R
迥斯热背类静电卡盘是一种混合型静电卡盘，主体材料可以由氧化铝、氮化铝、氧化硅等材料掺杂适量的金属粉末混凝烧结而成，本质上具有一定的弱导电性。
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