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设计技术
静电场仿真技术
吸力仿真技术
热场仿真技术

制造技术
陶瓷烧结技术
电极制备技术
陶瓷喷涂技术
Bonding 技术
表面处理技术

检测技术
材料尺寸精度测试:尺寸公差、粗糙度等
材料缺陷检测:裂纹、电阻率、导热等
电学性能检测:耐压、漏电流、电容等
吸力测试
氦漏测试

应用技术
ETCH
PVD
IMP
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