产品开发及应用
氧化铝陶瓷ESC
温度：
高温款（-30-600℃）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐高温，适应于填孔PVD、IMP工艺及其他高温工艺设备。
高温款（-30-600℃）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐高温，适应于填孔PVD、IMP工艺及其他高温工艺设备。
所属分类：
产品描述
温度：高温款（-30-600℃）
特点及应用：库伦型，双电级，耐高温，适应于填孔PVD、IMP工艺及其他高温工艺设备。
无锡宜恰
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