产品开发及应用
高温氧化铝陶瓷ESC
温度：
高温款（-30-600℃）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐高温，适应于填孔PVD、IMP工艺及其他高温工艺设备；
高温款（-30-600℃）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐高温，适应于填孔PVD、IMP工艺及其他高温工艺设备；
所属分类：
产品描述
尺寸：6-12英寸
电压：±2k-6KV
吸力：＞10gf/c㎡
温度：高温款（-30-600℃）
特点及应用：库伦型，双电级，耐高温，适应于填孔PVD、IMP工艺及其他高温工艺设备。
无锡宜恰
在线咨询
如果您有任何与产品相关的问题，请随时与我们联系！
