产品开发及应用
掺杂氧化铝ESC
温度：
温控款（带温控，带chiller）
特点及应用：
JR型，分区温控，12改8英寸，适用于需要温度补偿的Etch、CVD等工艺机台；
温控款（带温控，带chiller）
特点及应用：
JR型，分区温控，12改8英寸，适用于需要温度补偿的Etch、CVD等工艺机台；
所属分类：
产品描述
尺寸：8英寸
电压：±1000V
吸力：＞10gf/c㎡
温度：温控款（带温控，带chiller）
特点及应用：JR型，分区温控，12改8英寸，适用于需要温度补偿的Etch、CVD等工艺机台。
无锡宜恰
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