产品开发及应用
掺杂氧化铝ESC
温度：
温控款（带温控，带chiller）
特点及应用：
JR型，吸力大，导热好，wafer表面温升低，适用于8-12英寸Etch、PVD、CVD工艺；
温控款（带温控，带chiller）
特点及应用：
JR型，吸力大，导热好，wafer表面温升低，适用于8-12英寸Etch、PVD、CVD工艺；
所属分类：
产品描述
尺寸：8-12英寸
电压：±1000V
吸力：＞10gf/c㎡
温度：温控款（带温控，带chiller）
特点及应用：JR型，吸力大，导热好，wafer表面温升低，适用于8-12英寸Etch、PVD、CVD工艺。
无锡宜恰
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