产品开发及应用
氧化铝陶瓷ESC
温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于刻蚀（含TSV）及其他常规工艺设备；
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于刻蚀（含TSV）及其他常规工艺设备；
所属分类：
产品描述
尺寸：8英寸
电压：±2000V
吸力：＞10gf/c㎡
温度：常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于刻蚀（含TSV）及其他常规工艺设备
无锡宜恰
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