产品开发及应用
氮化铝陶瓷ESC （原厂改进）
温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，导热好，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备；
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，导热好，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备；
所属分类：
产品描述
尺寸：8英寸
电压：±6KV
吸力：＞10gf/c㎡
温度：常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：库伦型，双电级，耐刻蚀，导热好，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。
无锡宜恰
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