产品开发及应用
氧化铝陶瓷ESC
温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，单电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、TSV、TGV工艺及其他常规工艺设备。
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，单电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、TSV、TGV工艺及其他常规工艺设备。
所属分类：
产品描述
温度：常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：库伦型，单电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、TSV、TGV工艺及其他常规工艺设备。
无锡宜恰
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