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掺杂氧化铝ESC

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温度：
温控款（带温控，带chiller）
特点及应用：
JR型，吸力大，导热好，wafer表面温升低，适用于8-12英寸Etch、PVD、CVD工艺；

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温度：
温控款（带温控，带chiller）
特点及应用：
JR型，分区温控，12改8英寸，适用于需要温度补偿的Etch、CVD等工艺机台；

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