产品开发及应用


氧化铝陶瓷ESC

温度:
常温款(不加热,带chiller)
特点及应用:
库伦型,双电级,耐刻蚀,寿命长,适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC

温度:
常温款(不加热,带chiller)
特点及应用:
库伦型,双电级,耐刻蚀,寿命长,适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC

温度:
高温款(-30-600℃)
特点及应用:
库伦型,双电级,耐高温,适应于填孔PVD、IMP工艺及其他高温工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC

温度:
常温款(带加热,带chiller)
特点及应用:
库伦型,双电级,耐刻蚀,寿命长,适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC

温度:
常温款(不加热,带chiller)
特点及应用:
库伦型,双电级,耐刻蚀,寿命长,适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC

温度:
常温款(带加热,带chiller)
特点及应用:
库伦型,双电级,耐刻蚀,寿命长,适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

高温氧化铝陶瓷ESC

温度:
高温款(-30-600℃)
特点及应用:
库伦型,双电级,耐高温,适应于填孔PVD、IMP工艺及其他高温工艺设备;

氮化铝陶瓷ESC (原厂改进)

温度:
常温款(不加热,带chiller)
特点及应用:
库伦型,双电级,耐刻蚀,导热好,适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备;

< 123 >