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氧化铝陶瓷ESC
温度: 常温款(不加热,带chiller) 特点及应用: 库伦型,双电级,耐刻蚀,寿命长,适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。
温度: 高温款(-30-600℃) 特点及应用: 库伦型,双电级,耐高温,适应于填孔PVD、IMP工艺及其他高温工艺设备。
温度: 常温款(带加热,带chiller) 特点及应用: 库伦型,双电级,耐刻蚀,寿命长,适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。
高温氧化铝陶瓷ESC
温度: 高温款(-30-600℃) 特点及应用: 库伦型,双电级,耐高温,适应于填孔PVD、IMP工艺及其他高温工艺设备;
氮化铝陶瓷ESC (原厂改进)
温度: 常温款(不加热,带chiller) 特点及应用: 库伦型,双电级,耐刻蚀,导热好,适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备;