氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC

温度：
高温款（-30-600℃）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐高温，适应于填孔PVD、IMP工艺及其他高温工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（带加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（带加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

高温氧化铝陶瓷ESC

温度：
高温款（-30-600℃）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐高温，适应于填孔PVD、IMP工艺及其他高温工艺设备；

氮化铝陶瓷ESC （原厂改进）

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，导热好，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备；