网站首页
关于我们
ESC介绍
产品开发及应用
核心技术
新闻资讯
联系我们
氧化铝陶瓷ESC
温度: 常温款(不加热,带chiller) 特点及应用: 库伦型,双电级,耐刻蚀,寿命长,适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。
温度: 常温款(不加热,带chiller,双水道) 特点及应用: 库伦型,单电级,耐刻蚀,寿命长,适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。
温度: 常温款(不加热,带chiller) 特点及应用: 库伦型,单电级,耐刻蚀,寿命长,适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。
温度: 常温款(不加热,带chiller) 特点及应用: 库伦型,单电级,耐刻蚀,寿命长,适应于Etch、TSV、TGV工艺及其他常规工艺设备。