氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller，双水道）
特点及应用：
库伦型，单电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，单电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，单电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、TSV、TGV工艺及其他常规工艺设备。