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氮化铝陶瓷ESC (原厂改进)

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氮化铝陶瓷ESC (原厂改进)


温度:
常温款(不加热,带chiller)
特点及应用:
库伦型,双电级,耐刻蚀,导热好,适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备;