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氮化铝陶瓷ESC （原厂改进）

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氮化铝陶瓷ESC （原厂改进）

氮化铝陶瓷ESC （原厂改进）

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，导热好，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备；

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