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高温氧化铝陶瓷ESC

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高温氧化铝陶瓷ESC

高温氧化铝陶瓷ESC

温度：
高温款（-30-600℃）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐高温，适应于填孔PVD、IMP工艺及其他高温工艺设备；

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高温氧化铝陶瓷ESC

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