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高温氧化铝陶瓷ESC
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高温氧化铝陶瓷ESC
温度:
高温款(-30-600℃)
特点及应用:
库伦型,双电级,耐高温,适应于填孔PVD、IMP工艺及其他高温工艺设备;
关键词:
高温氧化铝陶瓷ESC
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