产品开发及应用


氧化铝陶瓷ESC

温度:
常温款(不加热,带chiller)
特点及应用:
库伦型,双电级,耐刻蚀,寿命长,适应于刻蚀(含TSV)及其他常规工艺设备;

氧化铝陶瓷ESC

温度:
常温款(不加热,带chiller)
特点及应用:
库伦型,双电级,耐刻蚀,寿命长,适应于刻蚀(含TSV)及其他常规工艺设备;

氧化铝陶瓷ESC

温度:
常温款(不加热,带chiller)
特点及应用:
库伦型,双电级,耐刻蚀,寿命长,适应于刻蚀(含TSV)及其他常规工艺设备;