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氧化铝陶瓷ESC

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氧化铝陶瓷ESC

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

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氧化铝陶瓷ESC

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氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

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氧化铝陶瓷ESC

氧化铝陶瓷ESC

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller）
特点及应用：
库伦型，双电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

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氧化铝陶瓷ESC

氧化铝陶瓷ESC

氧化铝陶瓷ESC

温度：
常温款（不加热，带chiller，双水道）
特点及应用：
库伦型，单电级，耐刻蚀，寿命长，适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

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氧化铝陶瓷ESC

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