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氧化铝陶瓷ESC

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氧化铝陶瓷ESC


温度:
常温款(不加热,带chiller)
特点及应用:
库伦型,双电级,耐刻蚀,寿命长,适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC


温度:
常温款(不加热,带chiller)
特点及应用:
库伦型,双电级,耐刻蚀,寿命长,适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC


温度:
常温款(不加热,带chiller)
特点及应用:
库伦型,双电级,耐刻蚀,寿命长,适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。

氧化铝陶瓷ESC


温度:
常温款(不加热,带chiller,双水道)
特点及应用:
库伦型,单电级,耐刻蚀,寿命长,适应于Etch、PVD、CVD工艺及其他常规工艺设备。